Опис навчальної дисципліни

Розглядаються методи синтезу наноструктур різної розмірності, основна увага приділяється гетеро- і гомоепітаксії, осадженню матеріалів з іонно-молекулярних пучків, мікролітографії, формуванню нанорельєфу за допомогою скануючого та атомно-силового мікроскопів. Сформульовано фізичні основи ряду методів дослідження поверхні, серед яких традиційні дифракційні і мікроскопічні методи та нові зондові.

В результаті вивчення даного курсу студент повинен

знати:

• основні поняття нанотехнології та фізики нанорозмірних об’єктів, викладені у програмі курсу

вміти:

• вирощувати конкретні нуль-, одно-, дво- та тримірні об’єкти,
• розраховувати розміри об’єктів за даними зондової мікроскопії,
• описувати процес дослідження низькорозмірної структури: від технології підготовки підкладки для неї до отримання її фізичних властивостей,
• працювати на зондовому мікроскопі на рівні початкуючого користувача,
• читати отримані мікроскопом у різних режимах зображення,
• обробляти та інтерпретувати отримані результати зондової мікроскопії з допомогою спеціального програмного забезпечення.