Фізика і технологія тонких плівок (Прикладна фізика та наноматеріали)

Тип: На вибір ВУЗу

Кафедра: фізики твердого тіла

Навчальний план

СеместрКредитиЗвітність
93Іспит

Лекції

СеместрК-сть годинЛекторГрупа(и)
916Турко Б. І.

Лабораторні

СеместрК-сть годинГрупаВикладач(і)
932

Опис навчальної дисципліни

Метою і завданням навчальної дисципліни “Фізика і технологія тонких плівок” є
формування необхідних теоретичних знань і практичних навиків, які дозволять створювати та
інтерпретувати якісні і кількісні характеристики тонкоплівкових матеріалів, виводити
закономірності взаємозв’язків між їхнім хімічним складом, кристалічною та електронною
структурою і фізичними властивостями, розширення науково-технічного світогляду студентів.
В результаті вивчення цього курсу студент повинен
знати:
технології отримання тонких плівок, фізичні основи формування тонкоплівкових покриттів,
методи дослідження структури, складу і фізичних властивостей тонких плівок.
вміти:
створювати плівкові матеріали з наперед заданою кристалічною структурою, хімічним
складом і товщиною, вимірювати товщину, величину макронапружень і адгезію та критичну
температуру конденсації, розраховувати енергію активації заліковування дефектів
кристалічної будови.

Рекомендована література

1. Технология тонких плёнок (справочник) / под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Нью-Йорк, 1970,
в 2 томах, Т. 1. – М.: Сов. Радио. – 1977. – 664 с.
2. Технология тонких плёнок (справочник) / под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Нью-Йорк, 1970,
в 2 томах, Т. 2. – М.: Сов. Радио. – 1977. – 768 с.
3. Заячук Д. М. Нанотехнології і наноструктури: Навч. посібник. – Львів: В-во «Львівська
політехніка», 2009. – 580 с.
4. Розанов Л. Н. Вакуумная техника: Учеб. для вузов по спец. «Вакуумная техника». – 2-е изд.,
перераб. и доп. – М.: Высш. шк., 1990. – 320 с.
5. Вакуумная техника: Справочник / Е. С. Фролов, В. Е. Минайчев, А. Т. Александрова и др.
/ под общ. ред. Е. С. Фролова, В. Е. Минайчева. – М.: Машиностроение, 1992. – 480 с.
6. Pelliccione M. and Lu T.-M. Evolution of Thin Film Morphology. Modeling and Simulations. N.
Y.: Springer, 2008. – 206 p.
7. Берлин Е. В. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких
пленок / Е. В. Берлин, С. А. Двинин, Л. А. Сейдман. – М.: Техносфера, 2007. – 176 с.
8. Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику
поверхности. – М.: Наука, 2006, – 490 с.
9. Handbook of Thin-Film Deposition Processes and Techniques. 2nd Ed. / Ed. by Krishna
Seshan. – N. Y.: William Andrew Publishing, 2002. – 656 p.
10. Wasa K. Thin Film Materials Technology: Sputtering of Compound Materials / Ed. by K. Wasa,
M. Kitabatake, H. Adachi. – N. Y.: William Andrew, Inc., 2004. – 518 p.

Навчальна програма

Завантажити навчальну програму