Фізика і технологія тонких плівок (105 – Прикладна фізика та наноматеріали, ОПП Прикладна фізика та наноматеріали)
Тип: На вибір студента
Кафедра: фізики твердого тіла
Навчальний план
| Семестр | Кредити | Звітність |
| 9 | 4 | Залік |
Лекції
| Семестр | К-сть годин | Лектор | Група(и) |
| 9 | 16 | Турко Б. І. | ФзПм-11 |
Лабораторні
| Семестр | К-сть годин | Група | Викладач(і) |
| 9 | 16 | ФзПм-11 | Турко Б. І., Турко Б. І. |
Опис навчальної дисципліни
Метою і завданням навчальної дисципліни “Фізика і технологія тонких плівок” є
формування необхідних теоретичних знань і практичних навиків, які дозволять створювати та
інтерпретувати якісні і кількісні характеристики тонкоплівкових матеріалів, виводити
закономірності взаємозв’язків між їхнім хімічним складом, кристалічною та електронною
структурою і фізичними властивостями, розширення науково-технічного світогляду студентів.
В результаті вивчення цього курсу студент повинен
знати:
технології отримання тонких плівок, фізичні основи формування тонкоплівкових покриттів,
методи дослідження структури, складу і фізичних властивостей тонких плівок.
вміти:
створювати плівкові матеріали з наперед заданою кристалічною структурою, хімічним
складом і товщиною, вимірювати товщину, величину макронапружень і адгезію та критичну
температуру конденсації, розраховувати енергію активації заліковування дефектів
кристалічної будови.
Рекомендована література
- Заячук Д. М. Нанотехнології і наноструктури: Навч. посібник. – Львів: В-во «Львівська політехніка», 2009. – 580 с.
- Pelliccione M. and Lu T.-M. Evolution of Thin Film Morphology. Modeling and Simulations. N. Y.: Springer, 2008. – 206 p.
- Handbook of Thin-Film Deposition Processes and Techniques. 2nd Ed. / Ed. by Krishna – N. Y.: William Andrew Publishing, 2002. – 656 p.
- Wasa K. Thin Film Materials Technology: Sputtering of Compound Materials / Ed. by K. Wasa, M.Kitabatake, H. Adachi. – N. Y.: William Andrew, Inc., 2004. – 518 p.
- Handbook of Semiconductor Interconnection Technology. 2nd Ed. / Ed. by G. C. Schwartz and K. V. Srikrishnan. – Boca Raton : Taylor & Francis Group, LLC, 2006. – 506 p.
- Sulabha K. Kulkarni. Nanotechnology: Principles and Practices. 3rd Ed. –New Delhi: Co-published by Springer International Publishing, Cham, Switzerland, with Capital Publishing Company, 2015 – 403 p.