Навчання > Технології мікро- і наноелектроніки (105 – Прикладна фізика і наноматеріали, ОПП Прикладна фізика та наноматеріали)

Технології мікро- і наноелектроніки (105 – Прикладна фізика і наноматеріали, ОПП Прикладна фізика та наноматеріали)

Тип: На вибір студента

Кафедра: фізики твердого тіла

Навчальний план

СеместрКредитиЗвітність
94Залік

Лекції

СеместрК-сть годинЛекторГрупа(и)
916Турко Б. І.ФзПм-11

Лабораторні

СеместрК-сть годинГрупаВикладач(і)
916ФзПм-11Турко Б. І., Турко Б. І.

Опис навчальної дисципліни

Метою вивчення дисципліни «Технології мікро- і наноелектроніки» є формування у майбутнього фізика-науковця необхідних теоретичних знань і практичних навиків в області технології виробів мікро- і наноелектроніки, розширення науково-технічного світогляду студентів. Ціль курсу: ознайомити студентів зі сучасними тенденціями у проектуванні та створенні мікро- і наноелектронних пристроїв.

Освітньою ціллю курсу є формування вміння у студентів самостійно розбиратися і неупереджено орієнтуватися в передових ідеях та найновіших досягненнях експериментальної фізики та галузі приладобудування; розвинення інтегративного стилю мислення і пізнавального інтересу до нових розробок в різних областях електроніки.

В результаті вивчення цього курсу здобувач повинен

            знати:

термінологію, загальні принципи побудови, фізико-технологічні основи технологічних процесів, технологічних маршрутів і схем в області технології виготовлення електронної компонентної бази мікро- та нанорозміних приладів електроніки.

            вміти:

аналізувати науково-технічну інформацію, грамотно вибирати технологічні процеси і обладнання для розв’язання поставлених завдань в області технологій мікро- і наноелектроніки.

Рекомендована література

Базова:

  1. Стребежев В. М., Юрійчук І. М. Основи субмікронної та нанотехнології: навч. посібник. Ч. 1 – Чернівці : Чернівецький національний університет ім. Юрія Федьковича, 2021. – 120 с.
  2. Кузьмичев А. І., Писаренко Л. Д., Цибульский Л. Ю. Технологія виробництва мікросхем: навч. посібник – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – 127 с.
  3. Готра З. Ю. Субмікронні та нанорозмірні структури наноелектроніки. Підручник / З. Ю. Готра, І. І. Григорак, Б. А. Лукіянець, В. П. Махній, С. В. Павлов, Л. Ф. Політанський, Ежи Потенські. Чернівці : Видавництво та друкарня «Технологічний центр». 2014. – 839 с.
  4. Зайцев Р. В., Дроздов А. М., Зайцева Л. В., Хрипунов Г. С. Технологічні основи електроніки Ч. 1 – Харків : НТУ «ХПІ», 2021. – 64 с.
  5. Наноматеріали, нанотехнології, нанопристрої /Боровий М.О., Куницький Ю.А., Каленик О.О., Овсієнко І.В., Цареградська Т.Л. – Київ: «Інтерсервіс», 2015. – 350 с.

Допоміжна:

  1. Sulabha K. Kulkarni. Nanotechnology: Principles and Practices. 3rd Ed. –New Delhi : Co-published by Springer International Publishing, Cham, Switzerland, with Capital Publishing Company, 2015 – 403 p.
  2. Бурик І. П. Технологічні основи виготовлення елементів напівпровідникових інтегральних мікросхем – Суми : Сумський державний університет, 2015. – 65 с.
  3. Майструк Е. В., Козярський І. П., Козярський Д. П., Мар’янчук П. Д. Фізико-хімічні основи напівпровідникового матеріалознавства: навч. посібник. –Чернівці : Чернівецький національний університет, 2020. – 120 с.
  4. Опанасюк Н. М., Однодворець Л. В., Степаненко А. О. , Проценко С. І. Технологічні основи електроніки: навч. посібник – Суми: СумДУ, 2013.– 105 с.
  5. Handbook of Thin-Film Technology / by H. Frey and H. R. Khan. – Berlin : Springer, 2015. – 379 p.

Інформаційні ресурси:

  1. http://publications.lnu.edu.ua/collections/index.php/electronics/issue/archive
  2. https://physics.lnu.edu.ua/research/publications/our-publisher
  3. https://jnep.sumdu.edu.ua/uk/component/archive/

 

Силабус: Технології мікро- і наноелектроніки

Завантажити силабус